- Физико-технологический институт РАН
-
Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения нанотехнологий и информационных технологий Российской академии наук.
Директор — академик Александр Александрович Орликовский
Содержание
Научные подразделения
- Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники (ММФТПМ)
- Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов (МССП)
- Лаборатория субмикронной литографии (СЛ)
- Лаборатория физики поверхности и микроэлектронных структур (ФПМС)
- Лаборатория физических основ квантовых вычислений
Проекты и исследования
- Ионно-лучевые технологии
- Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС
История ФТИАН
Cоздан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.
Первый директор института — академик Камиль Ахметович Валиев.
См. также
Ссылки
- Физико-технологический институт (ФТИАН)
- Кафедра физических и технологических проблем микроэлектроники на базе физико-технологического института
Для улучшения этой статьи желательно?: - Дополнить статью (статья слишком короткая либо содержит лишь словарное определение).
- Добавить географические координаты.
- Найти и оформить в виде сносок ссылки на авторитетные источники, подтверждающие написанное.
- Добавить иллюстрации.
- Проставить интервики в рамках проекта Интервики.
Категории:- Институты РАН
- Базы МФТИ
- Физические институты
Wikimedia Foundation. 2010.